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          這些原理可以很好的幫你了解電子探針
          發布時間:2021-08-23   點擊次數:294次
            電子探針是一種利用電子束作用樣品后產生的特征X射線進行微區成分分析的儀器,可以用來分析薄片中礦物微區的化學組成。除H、He、Li、Be等幾個較輕元素外,還有U元素以后的元素以外都可進行定性和定量分析。電子探針的大批量是利用經過加速和聚焦的極窄的電子束為探針,激發試樣中某一微小區域,使其發出特征X射線,測定該X射線的波長和強度,即可對該微區的元素作定性或定量分析。
           
            電子探針的簡單原理:
            1、電子光學系統:電子束直徑0.1~1μm,電子束穿透深度1~3μm。
          被激發原子發射特征X射線譜過程如下:圍繞原子核運動的內層電子,被電子束的電子轟擊后,其他外層電子為補充轟擊出的電子而發生躍遷,在躍遷過程中釋放出能量,即發射出X射線。
            2、X射線譜儀:測量各種元素產生的X射線波長和強度,并以此對微小體積中所含元素進行定性和定量分析。
            3、X射線強度測量系統:特征X射線,由B系統中的計數管接收,并轉換成電脈沖,通過脈沖高度分析儀、計數率計、定標器、電子電位計將其強度測量出來。
            4、光學顯微鏡目測系統:用以準確選擇需要分析的區域,并作光學觀察。
            5、背散射電子圖像系統。
            6、吸收電子圖像系統。
            7、特征X射線圖像系統:電子探針的技術核心是利用X射線晶體光學,主要應用兩種方法:
            a、晶體衍射法:利用晶體轉到一定角度,來衍射某種波長的X射線,通過讀出晶體不同的衍射角,求出X射線的波長,從而定出樣品所含的元素;
            b、X射線能譜分析法:無須分析晶體,而直接將探測器接收的訊號加以放大,進行脈沖幅度分析,通過選擇不同的脈沖幅度來確定入射x射線的能量,從而區分不同的特征X射線。計算時應用布拉格方程:nλ=2dsinθ。

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